AVI主動隔振平臺


AVI主動隔振平臺有助于最大限度地提高全世界數百臺電子顯微鏡和其他高載荷精密研究儀器的空間分辨率。諸如卡爾蔡司顯微鏡公司,FEI公司,DCG系統等設備制造商選擇AVI為其客戶提供最佳解決方案,以在噪聲最大的環境中實現最高數據質量。

AVI的模塊化和易于安裝的設計,可以在亞赫茲隔振性能方面為客戶提供最大的可用性和成本效益。



AVI系列產品是一款模塊化,薄型化的主動隔振平臺,可在六個自由度范圍內實現亞赫茲振動隔離。安裝過程簡便,可節省實驗場所和安裝成本。產品分三個型號:AVI-200AVI-400AVI-600

AVI-200有三種標準尺寸可供選擇:AVI-200SAVI-200MAVI-200XL

AVI-400有三種標準尺寸可供選擇:AVI-400SAVI-400MAVI-400XL

AVI-600有三種標準尺寸可供選擇:AVI-600SAVI-600MAVI-600XL

 

技術參數

AVI系列主動減震產品:

1)主動隔振范圍:0.5 Hz-200 Hz

22.5 Hz95%隔振;

35 Hz99%隔振;

410 Hz99.5%隔振;

5)最大隔振效果在20 Hz99.8%

 

主要特點

1)隔離所有振動:隔離所有六種旋轉和平移振動模式下的振動;

2)業界領先的低頻隔離:主動隔離1200HzLFS系統為0.5 - 200 Hz);超過200 Hz的無源隔離;

3)主動式>被動式:沒有低頻共振意味著0-5Hz之間的性能比無源系統好得多;

4)最大剛度和穩定性:比被動系統硬500倍,可提供出色的方向和位置穩定性;

5)可擴展至任何儀器尺寸:模塊式樣允許系統適應特定的尺寸和負載,使其成為各種應用的理想選擇;

6)無縫安裝和使用:小巧的設計使得AVI系列無需升降設備即可安裝。

 

應用領域

使用AVI-200平臺的常見應用包括:

1)原子力顯微鏡;

2)干涉儀;

3)輪廓儀;

4)摩擦學;

5)高精度計量領域。

 

使用AVI-400/600平臺的常見應用包括:

1SEMTEM

2)超高真空掃描探針顯微鏡(UHV-SPM);

3)光刻工具;

4)高精度測量工具;

5)光譜儀器。

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